不同蒸發源的優缺點

電阻加熱蒸發源

優點：

1. 結構簡單、使用方便、造價低廉，因此使用普遍；

2. 可蒸發蒸發溫度小于1500℃的鋁、金、銀等金屬，蒸發一些硫化物、氟化物和某些氧化物。

要求：

1. 蒸發源材料的自身熔點要高；

2. 飽和蒸汽壓要低；

3. 化學性能要穩定，且具有良好的耐熱性，熱源變化時，功率密度變化較??；

4. 蒸發源對膜材料的“濕潤性”好。

電子束加熱蒸發源

優點：

1. 與電阻加熱源相比可以減少污染；

2. 能量集中，使膜料局部表面受到很高的溫度，而其它部分的溫度低。因此，可使高熔點（可以高達3000℃）的材料蒸發，且有較高的蒸發速率；

3. 可以準確、方便地控制蒸發溫度；

4. 有較大的溫度調節范圍，對高、低熔點的膜料都適用，適用性寬，特別適合蒸鍍熔點高達2000℃左右的氧化物。

缺點：

1. 通常蒸鍍的膜層較??；

2. 蒸鍍的薄膜組分復雜。

激光蒸發源

優點：

1. 能蒸發任何高熔點材料，可以蒸發各種材料，且獲得很高的蒸發速率；

2. 與電阻加熱蒸發源相比可以減少鍍膜受污染；

3. 非常適合于蒸發化合物或合金；

4. 與電子束蒸發源相比，它避免了電子束蒸發膜面帶電的缺點。

缺點：

1. 長時間工作，激光進入鐘罩窗口處的透鏡會受到影響；

2. 激光蒸發器比較昂貴，且并非對所有材料都顯示其優越性；

3. 由于蒸發材料溫度太高，蒸發粒子（原子、分子、簇團等）多易離子化，從而會對膜結構和特性產生一定影響。

高頻感應蒸發源

優點：

1. 它是面蒸發，蒸發速率大，可以比電阻蒸發源大10倍左右；

2. 蒸發源的溫度混勻穩定，不易產生飛濺現象；

3. 蒸發源一次裝料，無需送料機構，溫度控制較容易，操作比較簡單。

缺點：

1. 因為接觸易造成污染

2. 只能蒸發導電的膜料

3. 設備必須屏蔽，且需要復雜和昂貴的高頻發生器。